Сегодня мы уже упоминали TSMC, когда она рассказывала о будущих технологических нормах, таких как A13 и A12, но теперь компания отдельно высказалась по поводу применения дорогостоящих сканеров High-NA EUV. Пока вся полупроводниковая индустрия переходит на них, особенно это заметно в сегменте производителей памяти, тайваньский полупроводниковый гигант не торопится этим заниматься.
По словам Кевина Чжана (Kevin Zhang), старшего вице-президента TSMC, компания всё ещё не видит смысла в применении High-NA EUV — они хоть и упрощают производство и дают путь к более тонким нормам, их стоимость оставляет желать лучшего, из-за чего инженеры вынуждены находить способы использовать более доступное оборудование Low-NA EUV. Как ни странно, Кевин хочет применять их как минимум до A14, или 1.4-нм, для чего используется технология с несколькими шаблонами для вытравливания необходимого дизайна кристалла.
«Я думаю, что наши исследования и разработки преуспели исключительно с точки зрения использования существующих технологий EUV, при этом устанавливая агрессивную дорожную карту масштабирования технологий. Всякий раз, когда мы увидим, что High-NA обеспечит значимую выгоду, мы сделаем это. С A14 улучшение, о котором я говорил ранее, очень существенное и без использования High-NA. Таким образом, наша технологическая команда продолжает находить способы продлить срок службы текущего EUV, одновременно извлекая выгоду от масштабирования».
