ASML покупает активы обанкротившегося разработчика электроннолучевых сканеров

21

Электроннолучевая литография всё или почти всё. Крупнейший в мире производитель сканеров для полупроводниковой литографии, нидерландская компания ASML выпустила пресс-релиз, в котором сообщила о приобретении активов соотечественника ― компании Mapper из города Делфт в провинции Южная Голландия. Месяц назад Mapper сообщила о своём банкротстве, и ASML воспользовалась этим, чтобы по сходной цене стать собственником интересных разработок и заполучить грамотных инженеров. Однако финансовые детали сделки не разглашаются.

ASML покупает активы обанкротившегося разработчика электроннолучевых сканеров


Специализация компании Mapper ― это электроннолучевая полупроводниковая литография. Каких-то 9 лет назад считалось, что данный вид проекции при производстве чипов станет настолько же популярным, как и использование сканеров. Электроннолучевая литография позволяет обходиться без фотошаблонов ― рисунок наносится на кремниевую пластину (на фотрезист) с помощью бомбардировки множественными пучками электронов. Одновременно таких пучков-лучей может быть тысячи, что ускоряет проекцию каждой пластины. Экономия на фотомасках колоссальная. Для 300-мм пластин каждая маска стоит до $1 млн, а их на каждую пластину может понадобиться несколько десятков.

Компания TSMC, например, провела массивную обкатку проекционного оборудования компании Mapper на заводе Fab 12 в 2008–2009 годах. Всерьёз рассматривался вопрос внедрения электроннолучевых сканеров для выпуска чипов с нормами менее 20 нм. К сожалению для Mapper и для других игроков на этом рынке, победила иммерсионная литография и многократная проекция, за которыми, преимущественно, стояла ASML.

Впрочем, ASML собирается продолжить разработки в области электроннолучевой проекции. С одной стороны, это позволит занять хорошо знакомым делом бывших специалистов Mapper. С другой стороны, уже под крылом ASML данная технология может созреть до широкого коммерческого внедрения. Как знать, может быть для электроннолучевых сканеров ещё не всё потеряно? Кстати, только не надо смеяться, в 2012 году в Mapper инвестировала корпорация РОСНАНО. Но это уже другая история.